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真空炉中常用的几种真空系统

文章来源:人气:0发表时间:2019-2-27 14:26:44

 真空系统

真空热处理炉的真空系统的三个基本要求:

1)能迅速地将真空热处理炉的真空度抽到规定的要求。

2)能及时排出被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体,以及因真空泄漏而渗入炉体内的气体。

3)真空机组占地面积小,运行安全可靠,操作简便。

真空系统的组成

真空热处理炉的真空系统通常由真空获得设备(真空泵机组)、控制真空组件和测量真空组件所组成。

1)真空泵机组。根据炉子工作压力和抽气量的大小,分别选配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。

2)真空组件或元件。在真空炉体和真空泵机组之间配备的各种真空组件或真字元件,如管路、密封圈、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。

3)真空测量系统,如真空规管、真空压力表和其他真空测量仪表。

4)真空检漏仪器、真空控制仪器、充气装置等。

真空炉品种多,对真空系统的要求不一样。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系统。下面介绍几种常用的真空系统。

1.低真空系统

低真空系统适用于真空度在21333Pa范围的真空热处理炉,如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵。

2.中真空系统

中真空系统适用于真空度在3 X10~~1333Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛,其通常由两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵

3.高真空系统

高真空系统适用于真空度在66×10~~1333 X 10Pa范围的真空热处理炉,如真空退火炉、真空钎焊炉,通常由三级真空泵机组组成,主泵通常采用油扩散泵、离子泵,初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵。